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薄膜在線測厚現(xiàn)場

2023-10-27 0

  由于傳統(tǒng)的射線類膜厚檢測儀檢測精度低、易偏移、難于校準等缺點給實際的工藝產(chǎn)品質(zhì)量控制造成了很大的影響,SIMV涂層(膜厚)在線測厚儀,采用納米光學干涉的方式,可同時對20層不用涂層、薄膜進行同時測量,同時精度高達1nm,完美的解決了傳統(tǒng)射線類在線測厚儀有輻射、偏移周期長、檢測精度低、不能檢測涂層厚度的缺點。賽默斐視涂層厚度在線測厚儀檢測精度高,同時能夠?qū)崟r在線自動校準,有效的保證了在線測厚儀的檢測精度。

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